半导体板块探底回升光刻机方向领涨

　　10月22日消息，、、涨停，、涨超10%，、、等涨超5%。

　　消息面上，广东印发加快推动光芯片产业创新发展行动方案（2024—2030年），其中提出，大力推动刻蚀机、键合机、外延生长设备及光矢量参数网络测试仪等光芯片关键装备研发和国产化替代。